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第一六五九章 从低端数控系统开始研发 (第2/2页)

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,BSEC投资1亿元,带领光刻机光源研究所,静下心来开始研发EUV激光器,先后投资了3.6亿元,还在研究之中。

2002年1月18日,由GCA和悟空天使投�

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